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电子制造企业清洁系统工程

《电子厂洁净厂房设计规定》GB50472-2008规定的

化学污染物集成电路控制指标

洁净室(地区)温度和相对湿度要求

清洁空气供应(静态)和气流歧管

抗静电环境设计分类使用场所

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